國產(chǎn)首臺精密掩膜版 FMM 工藝設(shè)備現(xiàn)已出貨

晶洲裝備官方宣布，國產(chǎn)首臺精密掩模版（Fine metal Mask, 簡稱 FMM）INVAR 卷材工藝設(shè)備已于 1 月 6 日通過廠內(nèi)驗(yàn)收，發(fā)運(yùn)客戶端即將投入生產(chǎn)。這是晶洲裝備自主研發(fā)生產(chǎn)的國內(nèi)首臺 INVAR 卷材工藝設(shè)備。該設(shè)備集成脫脂、酸洗、減薄、清洗等多種單元，具備將基材厚度管理至 20μm 以內(nèi)水平，從而打破國外企業(yè)的壟斷，解決我國 FMM 工藝裝備“卡脖子“的問題。

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