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晶盛機電減薄機實現(xiàn)12英寸30μm超薄晶圓穩(wěn)定加工
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詳細說明
據(jù)晶盛機電消息，近日，由晶盛機電研發(fā)中心拋光設備研究所研發(fā)的新型WGP12T減薄拋光設備成功實現(xiàn)了穩(wěn)定加工12英寸30μm超薄晶圓。該技術(shù)的成功突破標志著晶盛機電在半導體設備制造領域再次邁出重要一步，為中國半導體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進步和自主可控提供了有力支撐。
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