證券時報e公司訊，上海新陽(300236)3月8日晚間披露ASML-1400光刻機進展公告，該光刻機設(shè)備于今日已進入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。公司采購的ASML干法光刻機設(shè)備順利交付，對加快193nm ArF干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進度有積極影響。
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上海新陽：ASML-1400光刻機已進入合作方場地
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